晶圓自動 AI 光學檢測機
- AI 即時缺陷檢測及分類，即檢即分類，處理速度可達 50 FPS 以上
- 可搭載“8/12” EFEM，支援 SECS GEM200/300
- Min defect size ≧ 0.3µm
- 可搭載良率管理系統
Computer Vision
Software / Hardware
特點
應用場景
賣家資訊
晶圓自動 AI 光學檢測機
方案描述
- AI 即時缺陷檢測及分類，即檢即分類，處理速度可達 50 FPS 以上
- 可搭載“8/12” EFEM，支援 SECS GEM200/300
- Min defect size ≧ 0.3µm
- 可搭載良率管理系統
垂直應用
其他應用標籤
半導體
應用案例
AI 類型
Computer Vision
資料來源
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硬體/軟體
Software / Hardware
方案資訊連結
https://www.favite.com/product/semi-wafer-ai-aoi/
特點
應用場景
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